Структура и механические свойства углеродных покрытий, сформированных на подвергнутом ионной обработке подслое на основе этилцеллюлозы и серной кислоты

Установлено, что обработка ионами азота с энергией до 0,3 кэВ подслоя на основе этилцеллюлозы и серной кислоты приводит к увеличению субшероховатости и уменьшению соотношения sp$^3$/sp$^2$-гибридизированных атомов углерода у формируемых на его поверхности углеродных покрытий. Указанные структурные изменения приводят к уменьшению твердости покрытий в 1,3–1,6 раз, а коэффициента объемного изнашивания контртела в 7–12 раз в зависимости от длительности ионной обработки подслоя. При этом для покрытий с подслоем, обработанным ионами азота в течение 4 минут, характерно наличие локальных участков со значениями твердости до 22,7 ГПа и высокое среднее значение модуля Юнга – 699,3 ГПа, что, согласно данным КР-спектроскопии, может быть обусловлено наличием фуллереноподобных углеродных наноструктур либо их фрагментов.