Preparation of ZnO:B films with different optical haze and their influence on a-Si:H/$\mu$c-Si:H layers formation and light trapping in thin film silicon solar cells

Гидрогенизированные слои микроморфного кремния (a-SiH/$\mu$cSi:H) были получены на плёнках ZnO:B прозрачного проводящего оксида (ППО) с различной морфологией поверхности (различная шероховатость и оптическое рассеяние). Необходимая структура плёнок оксида цинка былa достигнута вариацией их толщины. Данная работа изучает зависимость структурных и оптических свойств слоёв Si от топографии ZnO. Наблюдается незначительное влияние морфологии поверхности подложек на рамановский фактор кристалличности. Он уменьшается примерно на $5\%$ при увеличении оптического рассеяния на ППО от $2$ до $>40\%$, при этом значительно увеличивается общее собирание света в ZnO:B/a-Si:H/$\mu$c-Si:H структурах (их коэффициент поглощения возрастает с $50$ до $70\%$). Оптимальная комбинация структурных и оптических свойств обнаружена при $>20\%$ уровне рассеяния света на ППО.