Аннотация:
В работе представлены некоторые результаты, полученные при разработке низкоэнергетичных плазменных источников электронов, формирующих электронные и ионные пучки с параметрами, достаточными для реализации ряда технологий модификации поверхностей.
Ключевые слова:низкоэнергетичные пучки, плазменный источник электронов, электродная структура.
Полный текст:
PDF файл (384 kB)