Е. Б. Шершнев, Ю. В. Никитюк, С. И. Соколов, А. Е. Шершнев, “Исследование лазерной полировки кварцевого стекла”, ПФМТ, 2015, выпуск 4(25),страницы 45

Эта публикация цитируется в 2 статьях

ФИЗИКА

Исследование лазерной полировки кварцевого стекла

Е. Б. Шершнев, Ю. В. Никитюк, С. И. Соколов, А. Е. Шершнев

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины

Аннотация: Представлены результаты исследования процесса лазерной полировки кварцевого стекла, полученные с использованием конечно-элементного моделирования. Также представлены результаты экспериментов по лазерной полировке кварцевого стекла с использованием CO$_2$-лазера.

Ключевые слова: лазер, кварцевое стекло, полировка, моделирование.

УДК: 621.373.826

Поступила в редакцию: 11.09.2015