Структура и механические свойства легированных азотом и алюминием углеродных покрытий

Легированные азотом и алюминием углеродные покрытия осаждались из совмещенных потоков импульсной углеродной плазмы и генерируемых дуговым разрядом постоянного тока ионов алюминия при парциальном давлении азота 6$\cdot$10$^{-2}$ Па. Определены закономерности влияния условий и режимов осаждения на фазовый состав углеродной матрицы и механические свойства покрытий. При режиме осаждения (6 Гц, 60 А) покрытия характеризуются наименьшим размером Csp$^2$ кластеров, их высокой концентрацией, что и определило их максимальную микротвердость, высокие упруго-пластические и триботехнические свойства.