Структура и механические свойства a-С покрытий, осажденных из импульсной углеродной плазмы на нагретый подслой Ni

Определены особенности морфологии, фазового состава и механических свойств углеродных покрытий, осаждённых из импульсных потоков углеродной плазмы на подложки, содержащие подслои никеля, при изменении ее температуры до 350$^\circ$ С. Установлено, что термообработка Ni подслоев незначительно влияет на их твердость и модуль упругости, приводит к повышению в 1,75 раза шероховатости RMS и более чем в 4 раза размера зерна. Фазовый состав Ni / a-C покрытий, осажденных на нагретые подслои никеля, характеризуется более высокой плотностью Csp$^2$ кластеров, при этом с ростом температуры нагрева подложка происходит значительное снижение шероховатости. Методом инструментального наноиндентирования установлена структурная и фазовая неоднородность покрытий, проявляющаяся в немонотонном изменении модуля упругости и твердости при увеличении глубины индентирования.