Влияние термообработки на структуру и механические свойства углеродных покрытий, легированных цирконием и кремнием

Определено влияние режимов термообработки на химический состав, морфологические параметры, механические свойства углеродных покрытий, легированных цирконием и кремнием. Осаждение покрытий осуществлялось из плазменного потока сложного состава, генерируемого импульсным электродуговым и электроискровым испарением. Установлено, что термообработка приводит к графитизации покрытий, образованию упорядоченных sp$^2$-кластеров и, как следствие, увеличению модуля упругости, уменьшению значений нанотвердости с последующей их стабилизацией при термообработке свыше 350$^\circ$ С.