RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Проблемы физики, математики и техники // Архив

ПФМТ, 2011, выпуск 2(7), страницы 31–37 (Mi pfmt99)

ФИЗИКА

Моделирование физико-технологических процессов в приповерхностном слое, при формировании микро и наноструктур электродинамическими воздействиями

А. П. Достанко, Н. Н. Гринчик, И. Н. Спресов

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск

Аннотация: Предложена модель процесса формирования микро- и наноструктур. Описаны и обоснованы физико-технологические процессы при воздействии электромагнитных сил и их применение в различных областях современной науки и техники. На основании математической модели исследованы различные формы и параметры материалов в процессе воздействия.

Ключевые слова: формирование тонкопленочных структур, электромагнитное воздействие плазмы.

УДК: 621.21.55

Поступила в редакцию: 19.04.2011



© МИАН, 2024