Влияние условий осаждения на структуру и механические свойства a-С покрытий

Методом импульсного катодно-дугового испарения сформированы аморфные углеродные покрытия. Определены зависимость скорости осаждения, фазового состава, шероховатости RMS, механических свойств покрытий от ориентации подложки по отношению к потоку углеродной плазмы. Показано, что параметры осаждения и свойства покрытий немонотонно изменяются при увеличении угла падения потока на подложку. На основании данных атомно-силовой микроскопии установлена зависимость шероховатости RMS покрытий от угла падения потока. Наиболее высокое содержание sp$^3$-фазы, твердость и модуль упругости достигаются при угле падения 15$^\circ$.