Спектры ИК поглощения пленок аморфного гидрогенизированного кремния

Исследованы спектры оптического поглощения в области валентных ($2000{-}2100\,\text{см}^{-1}$) и деформационных (630 и 890 см$^{-1}$) колебаний SiH-связей в пленках $a$-Si : Н, полученных методом разложения моносилана в тлеющем разряде. Сила осциллятора $\Gamma_{\text{eff}}$ продольных колебаний связей SiH, найденная при изучении ИК спектров в образцах, содержащих водород только в форме SiH, существенно зависит от концентрации водорода $C_{\text{H}}$. С ростом $C_{\text{H}}$ от 5 до 15% величина $\Gamma_{\text{eff}}$ увеличивается в 2 раза, при этом также наблюдаются заметное уширение полосы 2000 см$^{-1}$ и сдвиг ее максимума в сторону больших энергий. Показано, что величина предельной растворимости водорода в форме SiH может достигать 16%. Сделана оценка сил осциллятора групп SiH$_{2}$ для полос 2100 и 890 см$^{-1}$.