Краткие сообщения

Ионизационно-стимулированный механизм миграции примесей в ионно-имплантированных полупроводниках

П. К. Хабибуллаев, М. С. Юнусов, Ш. Махкамов, Б. Л. Оксенгендлер, Ю. В. Пахаруков