Скопления электрически активных примесей в монокристаллах фосфида индия

Проведено исследование неоднородностей в монокристаллах InP и InP : Fe методом малоуглового рассеяния света СO$_{2}$-лазера (${\lambda=10.6}$ мкм). Найдено, что размер основных неоднородностей в нелегированном InР составляет ${6\div7}$ мкм, а в InP : Fe — ${4\div5}$ и ${7\div8}$ мкм. Выяснено, что неоднородности с размерами ${6\div7}$ и ${7\div8}$ мкм представляют собой локальные области с повышенной концентрацией ионизированных при комнатной температуре центров. Обнаружено влияние отжига при 550 и $750^{\circ}$С на интенсивность рассеяния образцами InP и InP : Fe.