Электрофизические свойства термического окисла соединения тантал–алюминий в МДП структурах

Рассмотрены электрофизические свойства кремниевых МДП структур с подзатворным диэлектриком из термического окисла соединения тантал–алюминий, полученного катодным распылением. Определены зарядовое состояние окисла соединения тантал–алюминий и граница раздела полупроводник–диэлектрик, а также их изменение при рентгеновском облучении МДП структур.