Краткие сообщения

Отжиг дивакансий в кремнии, облученном быстрыми нейтронами

А. В. Васильев, С. А. Смагулова, Л. С. Смирнов

Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 20.06.1985
Принята в печать: 07.10.1985