RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 4, страницы 634–640 (Mi phts151)

О роли дислокаций в формировании свойств монокристаллов полуизолирующего GaAs

А. В. Марков, М. Г. Мильвидский, В. Б. Освенский

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"

Аннотация: Исследовано влияние «высокотемпературных» и «низкотемпературных» ростовых, а также введенных деформацией образцов дислокаций на однородность распределения электрофизических параметров (фотоэлектрохимического тока, удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей) в монокристаллах полуизолирующего арсенида галлия. Показано, что неоднородность свойств формируют только дислокации, образовавшиеся при температурах, достаточно близких к температуре плавления. Проанализированы причины возникновения неоднородности, коррелирующей с распределением дислокаций, и сделан вывод об определяющей роли взаимодействия дислокаций с неравновесными собственными точечными дефектами.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 30.07.1985
Принята в печать: 12.10.1985



© МИАН, 2024