Влияние крупномасштабных неоднородностей на релаксацию неравновесной емкости МДП структур

Рассмотрено влияние крупномасштабных неоднородностей, вводимых рентгеновским излучением, на электрофизические свойства области пространственного заряда. Показано, что малые по площади неоднородности встроенного заряда могут существенно уменьшать время релаксации неравновесной емкости МДП структур. Показано, как можно разделить вклад поверхностных состоянии и неоднородностей в емкость МДП структур.