Диффузия бора в дырочном карбиде кремния

Методом трековой авторадиографии, основанной на ядерной реакции $^{10}$B($n,\alpha)^{7}$Li, исследовано диффузионное распределение бора в дырочном карбиде кремния, легированном алюминием, в температурном диапазоне ${1500\div2550^{\circ}}$С. Показано, что диффузионный профиль бора описывается erfc-функцией только при низкой поверхностной концентрации диффузанта. В этом случае коэффициент диффузии возрастает пропорционально концентрации акцепторов. Предложена модель диффузии бора в дырочном карбиде кремния, согласно которой миграция примеси осуществляется путем перемещения быстро диффундирующих комплексов В$_{\text{C}}{-}V_{\text{C}}$ поток которых лимитируется концентрацией положительно заряженных углеродных вакансий $V_{\text{C}}$.