Свойства субмикронных слоев на чистом германии, получаемых ионно-лазерным методом

Исследован отжиг одиночными миллисекундными импульсами ионно-легированных слоев на особо чистом германии. Для отжига использована установка с высокой однородностью светового поля лазеров и дополнительным термоподогревом. Определен диапазон плотностей энергии, в котором обеспечивается получение высоколегированных поликристаллических слоев и не происходит изменения объемных свойств исходного материала. Установлен механизм перестройки структуры имплантированных слоев. Слои могут быть использованы как неинжектирующие антизапорные контакты (быстродействующие фотодиоды, детекторы ядерных излучений).