Характеристики межфазовой границы Si$-$SiO$_{2}$ и поверхностная подвижность дырок в инверсионном слое

Приведены результаты исследования влияния состояния межфазовой границы Si$-$SiO$_{2}$, характеризуемого плотностями встроенного заряда и поверхностных состояний, на поверхностный перенос дырок в инверсионном слое.
Показано, что состояние межфазовой границы может существенно отражаться на величине подвижности свободных дырок (в особенности при низких температурах) и характере их рассеяния в поверхностном инверсионном слое.