Краткие сообщения

Изменение параметров поверхностных состояний кремния при лазерном облучении

П. К. Кашкаров, А. В. Петров

Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова,

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 10.08.1983
Принята в печать: 15.10.1983