« Холодная» кристаллизация аморфизованного кремния при облучении ионами бора

Исследовано влияние бомбардировки ионами бора на образцы кремния, предварительно сильно разупорядоченные ионами аргона. Наблюдались восстановление нарушенной структуры вблизи поверхности и кристаллизация аморфизованного кремния в приповерхностной области при температурах облучения, не превышающих 40$^{\circ}$С.