Краткие сообщения

Термоупругие напряжения при импульсном отжиге кремния в миллисекундном диапазоне

Е. Е. Квасов, В. В. Макаров

Ленинградский политехнический институт им. М. И. Калинина

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 28.09.1983
Принята в печать: 07.12.1983