Диффузионные приповерхностные примесные профили в полупроводниках III. Сопоставление с экспериментом

Приведен экспериментальный пример диффузии фосфора в кремний, качественно согласующийся с ранее развитой теорией, описывающей приповерхностные примесные профили с учетом образования подвижных комплексов из диффундирующих компонентов.