ИК поглощение в кремнии, облученном большими дозами нейтронов
Н. С. Жданович,
Л. Ф. Конорова Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград
Аннотация:
Выполнены измерения оптического поглощения в интервале
$1{-}25$ мкм, а также электропроводности в бескислородном высокоомном
кремнии, облученном большими интегральными потоками реакторных нейтронов при
разных температурах. В образцах, облученных при
${\sim200^{\circ}}$С,
с увеличением дозы нейтронов от
${5\cdot10^{18}}$ до
${2.5\cdot10^{20}\,\text{н}/\text{см}^{2}}$ наблюдается уменьшение поглощения,
обусловленного различными типами радиационных дефектов. В образцах,
облучавшихся теми же дозами при
${\sim70^{\circ}}$С, поглощение,
обусловленное радиационными дефектами, увеличивается с ростом дозы в согласии
с данными других исследователей.
На основании результатов измерения оптического поглощения и электропроводности
после облучения и в процессе изохронного отжига от 200 до
$1200^{\circ}$С
предполагается, что при температуре
${\sim200^{\circ}}$С возникающие при
облучении радиационные дефекты различного типа, взаимодействуя между собой
и с дефектами решетки исходного материала, образуют ассоциаты, не дающие
вклада в оптическое поглощение в исследованной области спектра
и служащие стоками для вновь образующихся радиационных дефектов.
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию: 28.09.1983
Принята в печать: 10.01.1984