Краткие сообщения

О роли атермических процессов в импульсном отжиге ионно-легированных слоев Si

А. Г. Итальянцев, В. Н. Мордкович, Э. М. Темпер


УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 05.12.1983
Принята в печать: 07.12.1983