Краткие сообщения

Влияние импульсного лазерного облучения на свойства имплантированных слоев карбида кремния

Э. Е. Виолин, О. Н. Воронько, Ф. Нойберт, Е. Н. Потапов

Ленинградский электротехнический институт им.Ульянова (Ленина)

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 15.09.1983
Принята в печать: 28.12.1983