Аннотация:
Методом нестационарной емкостной спектроскопии глубоких
уровней исследовались накопление и отжиг радиационных дефектов в нейтральном
объеме (НО) и области пространственного заряда (ОПЗ) GaAs при облучении
нейтронами и $\alpha$-частицами. Показано, что эффективности
накопления радиационных дефектов в НО и ОПЗ при облучении нейтронами
не различаются. Получена зависимость сдвига кривой изохронного отжига центров
$E3$ в ОПЗ относительно аналогичной кривой для НО от средней энергии первично
смещенных атомов. Показано, что величина второй стадии отжига центров $E3$
в НО GaAs, облученного нейтронами и $\alpha$-частицами,
больше, чем в случае облучения протонами 10 МэВ и $\gamma$-квантами.
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию: 05.09.1983 Принята в печать: 20.12.1983