Краткие сообщения

Радиационные нарушения в кремнии при легировании ионами бора и гелия

Г. Г. Ковалев, В. Н. Соколов

Ленинградский кораблестроительный институт

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 11.11.1983
Принята в печать: 17.11.1983