Краткие сообщения

Пассивирование водородом дефектных состояний на поверхности и в объеме кремния

Б. Н. Мукашев, М. Ф. Тамендаров, Л. Г. Колодин, В. В. Смирнов, С. Ж. Токмолдин

Физико-технический институт Министерства образования и науки Казахстана

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 20.09.1985
Принята в печать: 11.11.1985