Ионизационно-стимулированный отжиг пар Френкеля в германии и кремнии
в условиях электронного и гамма-облучения при гелиевых температурах
Н. А. Витовский,
В. В. Емцев,
Т. В. Машовец Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград
Аннотация:
Предложена и обсуждается модель отжига компонентов пары Френкеля,
созданных при низкотемпературном (
${<10}$ K) облучении электронами или
гамма-квантами с энергией
${\sim1}$ МэВ в германии и кремнии. Межузельный
атом (
$I$) обладает в том и другом полупроводниках донорным состоянием,
захват неравновесной дырки приводит к появлению кулоновского притяжения
между
$I^{+}$ и отрицательно заряженной вакансией (
$V^{-}$) и последующей
аннигиляции компонентов пары Френкеля. Наиболее вероятно, что миграция
$I$ осуществляется путем последовательных перескоков из изолированного
(
$T$ или
$H$) межузельного положения в гантельную конфигурацию, и наоборот;
при этом перемещение носит эстафетный характер. Предполагается, что
положения, энергетических уровней
$I$ и
$V$ зависят от расстояния между
компонентами пары Френкеля и при больших расстояниях
$I$ электрически
не активен, пара разделяется и оба компонента могут участвовать
в формировании стабильных дефектов. Анализ ситуации показывает, что
с помощью описанных представлений об ионизационно-стимулированной аннигиляции
пар могут быть объяснены экспериментально наблюдаемые значения скоростей
и кинетика образования дефектов при низкотемпературном облучении германия
и кремния.
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию: 01.08.1985
Принята в печать: 16.11.1985