В. Е. Борисенко, Д. И. Заровский, “Секундный отжиг имплантированного кремния низкоэнергетическими электронами”, Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 10,страницы 1909

ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 10, страницы 1909–1911 (Mi phts2014)

Краткие сообщения

Секундный отжиг имплантированного кремния низкоэнергетическими электронами

В. Е. Борисенко, Д. И. Заровский