Влияние жидкого волновода на процесс образования решеток при фототравлении полупроводников

В условиях существования оптического волновода при фототравлении полупроводников исследован процесс образования дифракционных решеток при воздействии на образец двух лазерных когерентных пучков. Кроме «традиционной» решетки, возникающей в результате интерференции двух облучающих пучков, возникает «дополнительная» решетка, возникающая при интерференции падающих пучков с волноводными. Показано, что образование «дополнительных» решеток приводит к насыщению глубины «традиционных» решеток. Предложен новый способ получения решеток за счет интерференции двух волноводных пучков. Этим способом получены решетки с периодом ${\Lambda_{\text{в}}\approx0.17}$ мкм.