Краткие сообщения

Влияние отжига на электронно-микроскопическое изображение и спектр DLTS дислокаций в деформированном кремнии

В. В. Аристов, П. Вернер, И. И. Снигирева, И. И. Ходос, Е. Б. Якимов, Н. А. Ярыкин

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 22.07.1985
Принята в печать: 16.10.1985