RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1986
, том 20,
выпуск 5,
страницы
929–933
(Mi phts223)
Краткие сообщения
Диффузия мышьяка через пористый кремний при секундной термообработке некогерентным светом
В. П. Бондаренко
,
В. Е. Борисенко
,
В. А. Лабунов
Минский радиотехнический институт
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию:
11.07.1985
Принята в печать:
27.11.1985
Полный текст:
PDF файл (606 kB)
©
МИАН
, 2024