RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 5, страницы 929–933 (Mi phts223)

Краткие сообщения

Диффузия мышьяка через пористый кремний при секундной термообработке некогерентным светом

В. П. Бондаренко, В. Е. Борисенко, В. А. Лабунов

Минский радиотехнический институт

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 11.07.1985
Принята в печать: 27.11.1985



© МИАН, 2024