Краткие сообщения

Особенности формирования неоднородности удельного сопротивления нейтронно-легированного кремния

Е. С. Юрова, В. В. Федоров, М. А. Мороховец, О. М. Гребенникова

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 24.07.1985
Принята в печать: 27.11.1985