RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1983, том 17, выпуск 4, страницы 683–685 (Mi phts2251)

Источники образования примесных облаков в германии

Г. И. Воронкова, Н. Н. Вербицкий, Л. А. Гончаров, В. П. Калинушкин, Т. М. Мурина, Е. А. Петрова, А. М. Прохоров


Аннотация: Методом малоуглового рассеяния ИК лазерного излучения исследован германий, легированный галлием до концентрации $10^{13}{-}10^{14}\,\text{см}^{-3}$, выращенный методом Чохральского в атмосфере водорода с переменным содержанием паров воды (точкой росы $T_{p}$, изменявшейся от $-42$ до $-70^{\circ}$С) и в вакууме $10^{-6}$ мм рт. ст. В германии, выращенном как в атмосфере водорода, так и в вакууме, наблюдаются примесные облака, образовавшиеся в результате диффузии примеси из точечного источника. Примесные облака, наблюдавшиеся в водородном германии, можно разделить по размерам на три группы: $\sim5$, $\sim7$ и $\sim9$ мкм. Для облаков размерами $\sim5$ и $\sim9$ мкм обнаружена зависимость интенсивности рассеяния от $T_{p}$, свидетельствующая о том, что эти облака инициируются частицами окисного шлака, захваченными из расплава. Отсутствие такой зависимости для облаков размером $\sim7$ мкм говорит о том, что источниками облаков могут служить также и частицы неокисного шлака.



© МИАН, 2024