RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 6, страницы 1037–1041 (Mi phts242)

Анизотропия оптического отражения кубических полупроводников, обусловленная поверхностным изгибом зон

В. Л. Берковиц, И. В. Макаренко, Т. А. Минашвили, В. И. Сафаров

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград

Аннотация: Исследовалась поляризационная анизотропия отражения за краем фундаментального поглощения в области переходов $E_{1}$ и ${E_{1}+\Delta_{1}}$ поверхностей (110) кубических полупроводников GaAs, InSb и Si. Регистрировалась спектральная зависимость величины ${\Delta R/R\simeq R_{\parallel}-R_{\perp}/R_{\parallel}}$, где $R_{\parallel},\,R_{\perp}$ — коэффициенты отражения света с поляризациями $E_{\parallel}[\bar{1}10]$ и $E_{\parallel}[001]$ соответственно. Исследованиями на образцах с разным уровнем легирования установлено, что при легировании ${N > 10^{-16}\,\text{см}^{-3}}$ эффекты анизотропии отражения в областях $E_{1}$ и ${E_{1}+\Delta_{1}}$ обусловлены приповерхностным электрическим полем, возникающим вследствие закрепления уровня Ферми на окисленной поверхности. Увеличение легирования вызывает рост приповерхностного поля и возрастание эффектов анизотропии. Кроме того, показано, что во всех кристаллах имеется некоторая начальная анизотропия, не связанная с изгибом зон на поверхности. Эффекты этой анизотропии наблюдаются в отражении как на чистой поверхности, так и на окисленной поверхности (110) кубических полупроводников. Высказано предположение, что причиной подобной анизотропии является вызванная поверхностью деформация приповерхностной части кристалла.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 29.10.1985
Принята в печать: 10.11.1985



© МИАН, 2024