Релаксация неравновесного поверхностного потенциала МДП структур в режиме постоянного заряда

Рассмотрены амплитудная и временна́я зависимости изменения поверхностного потенциала при релаксации неравновесной области пространственного заряда полупроводника в режиме постоянного заряда на затворе МДП структуры. Предложена экспериментальная схема для определения времени релаксации неравновесного потенциала. Показано согласие экспериментальных и расчетных кривых для МДП структур на кремнии и антимониде индия.