С. Г. Асатрян, В. А. Гуртов, О. Н. Ивашенков, Г. А. Курбатов, “Электрофизические свойства термического окисла тантала в МДП структурах”, Физика и техника полупроводников, 1983, том 17, выпуск 10,страницы 1791

Электрофизические свойства термического окисла тантала в МДП структурах

С. Г. Асатрян, В. А. Гуртов, О. Н. Ивашенков, Г. А. Курбатов

Аннотация: Рассмотрены элетрофизические свойства термического окисла тантала в МДП структурах на полупроводниковых кремниевых подложках. Определено зарядовое состояние окисла тантала, границы раздела полупроводник–диэлектрик и их изменение при различных воздействиях на МДП структуры.