Электрофизические свойства контактов с барьером Шоттки на аморфном гидрированном кремнии

Исследованы механизмы переноса тока через барьер металл–аморфный гидрированный кремний. Обнаружено существование надбарьерного и генерационно-рекомбинационного механизмов. Показано, что технологические параметры получения пленок (температура подложки, скорость напыления) определяют механизм переноса тока. Исследования проводились с помощью анализа темновых ВАХ структур с барьером Шоттки, изготовленных на пленках аморфного гидрированного кремния.