Синие SiC-$6H$-светодиоды

Представлены электрические и электролюминесцентные характеристики и параметры светодиодов синего свечения, изготовленных на основе карбида кремния политипа $6H$.
$p{-}n$-Структуры изготавливались методом бесконтейнерной жидкостной эпитаксии на подложках $n\text{-SiC-}6H$; $n$-слой содержал азот, $p$-слой был легирован алюминием.
$p{-}n$-Переход резкий, емкостное напряжение отсечки 2.6 В (293 K). Площадь $p{-}n$-перехода светодиодной меза-структуры порядка $10^{-3}\,\text{см}^{2}$. Свет выводился через $n$-подложку.
Максимум спектра электролюминесценции расположен в синей области. Зависимость интенсивности люминесценции от тока близка к линейной. Внешний квантовый выход равен $10^{-4}$ (293 K) и уменьшается с ростом температуры. Сила света светодиодов с полушириной диаграммы направленности излучения $12^{\circ}$ равна 2 мкд при токе 20 мА и 293 K (напряжение 3.4 В). Быстродействие светодиода порядка 1 мкс.