Краткие сообщения

Исследование распределения аморфной и кристаллической фазы ионно-синтезированного SiC в Si

П. А. Александров, Е. К. Баранова, А. Е. Городецкий, К. Д. Демаков, О. Г. Кутукова, С. Г. Шемардов