Пассивация примесей и радиационных дефектов водородом в кремнии $p$-типа

Исследовались процессы пассивации бора и радиационных дефектов атомарным водородом в кремнии. Обнаружены полосы ИК поглощения, идентифицированные с Si$-$Н-колебаниями пассивированного акцепторного центра. Изучено влияние температуры и времени обработки в водородной плазме на процессы пассивации атомов бора и электрофизические свойства $n^{+}{-}p$-структур. Показано, что взаимодействие радиационных дефектов с атомами водорода позволяет обратимо управлять их электрической активностью.