RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 6, страницы 1137–1139 (Mi phts2925)

Краткие сообщения

Механизм отжига разупорядоченных областей в кремнии

А. В. Васильев, В. В. Михнович, С. А. Смагулова




© МИАН, 2024