RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1988
, том 22,
выпуск 6,
страницы
1137–1139
(Mi phts2925)
Краткие сообщения
Механизм отжига разупорядоченных областей в кремнии
А. В. Васильев
,
В. В. Михнович
,
С. А. Смагулова
Полный текст:
PDF файл (398 kB)
©
МИАН
, 2024