Краткие сообщения

Влияние быстродиффундирующих примесей на малоугловое рассеяние света в кремнии

А. В. Батунина, В. В. Воронков, Г. И. Воронкова, В. П. Калинушкин, Т. М. Мурина, В. И. Фирсов, М. Н. Шулепников