Аннотация:
Для негидрогенизованных пленок $a$-Si$_{1-x}$Ge$_{x}$
получены зависимости оптической ширины запрещенной зоны $E_{0}$
и фоточувствительности $\Delta\sigma_{\text{ф}}/\sigma_{\text{т}}$ от $x$.
Установлено, что эти зависимости немонотонные и имеют максимумы вблизи
${x=0.03}$. Значения $E_{0}$ и $\Delta\sigma_{\text{ф}}/\sigma_{\text{т}}$
в максимумах равны соответственно 1.72 эВ и
${\sim10^{-2}}$. После отжига в вакууме при $400^{\circ}$С величина
фоточувствительности возрастает до 15, а темновой проводимости
$\sigma_{\text{т}}$ падает примерно на 2 порядка и становится сравнимой
с $\sigma_{\text{т}}$ для $a$-Si : Н. Положение максимума на зависимости
$\Delta\sigma_{\text{ф}}/\sigma_{\text{т}}(x)$ смещается при отжиге в сторону
уменьшения $x$. Полученные результаты объясняются снижением плотности
дефектных локализованных состояний при внедрении малых концентраций
атомов германия в случайную сетку аморфного кремния.
УДК:
621.315.592
Поступила в редакцию: 19.07.1985 Принята в печать: 02.02.1986