Молекулярно-пучковая эпитаксия гетероструктур на основе соединений $A^{\mathrm{III}}B^{\mathrm{V}}$

Рассмотрена взаимосвязь технических и физических аспектов реализации метода молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ) с его преимуществами. Приводятся данные по физико-химическим закономерностям роста и легирования соединений $A^{\mathrm{III}}B^{\mathrm{V}}$ и гетероструктур на их основе при МПЭ, уровень понимания которых в последнее время существенно повысился. Рассмотрены особенности варианта МПЭ с использованием молекулярных пучков металлоорганических соединений. Приводятся данные о последних достижениях в области получения материалов и структур с помощью МПЭ.