Исследование процесса разупорядочения кремния при ионной имплантации Ar$^{+}$

Обнаружен и исследован «эффект больших доз» при имплантации ионов Аr$^{+}$ в монокристаллический кремний. С использованием метода комбинационного рассеяния света показано, что стандартный процесс структурного разупорядочения с ростом дозы имплантации сменяется обратным эффектом восстановления структурного совершенства, сопровождающегося ростом растягивающего напряжения в приповерхностной области кристалла. Обнаружена зависимость эффекта от электронной системы исследуемого образца.