П. Ф. Лугаков, Т. А. Лукашевич, “Эффективность образования фосфоросодержащих комплексов при электронном и $\gamma$-облучении кремния”, Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 11,страницы 2071

ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1988, том 22, выпуск 11, страницы 2071–2073 (Mi phts3135)

Краткие сообщения

Эффективность образования фосфоросодержащих комплексов при электронном и $\gamma$-облучении кремния

П. Ф. Лугаков, Т. А. Лукашевич

Полный текст: PDF файл (456 kB)