Краткие сообщения

Диффузия фосфора в профилированном кремнии, полученном способом А. В.  Степанова

К. П. Абдурахманов, М. Б. Закс, В. В. Касаткин, Г. С. Куликов, С. К. Першеев, К. Х. Ходжаев